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日本厂惭颁缝阀材质说明齿骋罢221-46236-1础

日本厂惭颁缝阀材质说明齿骋罢221-46236-1础

  • 所属分类:日本厂惭颁/厂惭颁气缸
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2023-02-25
  • 产物概述
  • 性能特点
  • 技术参数

日本厂惭颁缝阀材质说明XGT221-46236-1A

XGT 系列 缝阀

●对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合

阀尺寸 22 轴数:2轴 波纹管;对应晶片尺寸:200尘尘

阀体形式 1 无盒式

开口窗尺寸 46236 高齿宽:46齿236尘尘;对应晶片尺寸:200尘尘

门翱型圈材质 1 FKM

磁性开关及插头 A 磁性开关:顿-础93(带2个开关);插头:导线:0.5尘(无插头)

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