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联系人：居琦

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地址：上海嘉定区嘉涌路99弄6号楼713

工作压力范围1.5…8bar, 2.5…8bar或3…8bar（取决 于所选的阀）可选择内先导气 源。

先导气源通过内部接口从气路 1（气源）分流。

真空工作需要外先导气源。 外先导气源口(气口12/14) 

位于阀上（管式阀）或气路板 上（板式阀）。

管式阀通过排气孔先导排气 板式阀通过气路板上的气口 82/84先导排气。

先导气源，管式和半管式阀

VABB-L1-10-S 用于覆盖一个闲置阀位 41 5 进气板 VABF-L1-10-P3A4-… 

用于进气，给气口1 和气口3 和5 41 6 H型导轨 NRH-35-2000 用于安装阀气路板 

105 7 H型导轨安装件 VAME-T-M4 2 件，用于将阀气路板安装到H型导轨 105 8 

隔离件 VABD-… 用于创建压力分区 41 9 带电缆插座 

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快插接头，用于外先导气 源接口12/14 2 单电控阀，带外先导气源 

3 单电控阀，带内先导气源 4 双电控阀，带外先导气源 5 双电控阀，带内先导气源

先导气源通过内部接口从气路 1分流。外先导气源(气口 12/14)通过每个阀的壳体单独 进气。

NEBV-H1G2-…-LE2 用于电接口插件H2 和H3 103 aJ 快插接头 QS… 

快插接头，用于气口2 和4 104 aA 快插接头 QS… 快插接头，用于进气，

给气口1 104 aB 消声器 U… 用于气口3 和5 104 aC 盖子 VMPA-HB…-B 

用于手控装置 105 aD 标签支架 ASLR-D 用于阀标签，覆盖安装螺丝和手控装置 

105 aE 盖子 VAMC 用于手控装置 

-H- 注意 半管式阀不能通过气路先 导进气。

短堵头，用于内先导 2 堵头，用于气口12/14， 用于内先导 3 长堵头，

用于外先导 4 快插接头，用于气口 12/14，用于外先导

板式阀的气路板在气口12/14和 气口1 之间有内部通道。通过在 

通道插入堵头来分别实现内先导 或外先导。

 气路板 VABM-L1-10S-G18-… 用于2…10,12,14和16 个阀位 41 2 

电磁阀 VUVG-LK… 管式阀，2x两位三通,两位五通和 三位五通 25 -V3 电磁阀 

VUVG-L… 管式阀，2x两位三通,两位五通和 三位五通 25 4 盲板 

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