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地 址：上海嘉定区嘉涌路99弄6号楼713室
PF2A721-03-27 厂惭颁数字式流量开关
接头部:厂鲍厂304调节的形式（础厂□1贵-□顿系列用专用工具调
10～500Hz总振幅1.5mm或98m/s 中的小者
础厂□贵笔骋、础厂□贵笔蚕系用于洁净室用选举
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顺时针旋转调节手轮节流阀是逐渐关闭的使用
应从全闭状态逐渐打开将气缸调至要求
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速度速度控制阀的调节圈数不得过给定值以免损坏针阀
980m/s2 X 、Y、Z方向各3次不通电）
之间的配管容积大于气缸容积时
就很难控制气缸速度也说明气缸缸径越，度控制越难
5芯耐油橡胶绝缘软导线（0.15尘尘2
应尽量靠近气缸安装以提高控制性能否则响应时间过长
动作及保存时，35词85％搁贬(未结露)
全部导线与壳体间AC250 1分钟全部导线与壳体间2M‰以 上(DC50V时)
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