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JGH小金井真空发生器，碍翱骋础狈贰滨真空发生器工作原理

螺钉，固定到顿滨狈导轨。（参照图5）拧紧扭矩：128狈?肠尘

　注： F15系列时，请旋松左右两个端盖的固定螺钉（各2个）。

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按图示的要领，将要增加的阀底座组件安装到顿滨狈导轨上。

确认连接正确照以下要领进先旋松背压防止阀的安装螺钉。

按图3所示的要领，将步骤②中分割的阀底座组件的开放操纵杆回复

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样。另外，也将已追加的阀底座的开放操纵杆置于相同的状态，按

从两侧挤压所有底座，使得底座之间不留空隙，拧紧尾端模块的固

注1： 拧紧F15系列的尾端模块时，请务必按照图4所示的步骤进行。

通过在汇流板上安装背压防止阀，可防止其他阀的排气产生气缸误动作。特别

是使用单作用气缸时，或是使用中位排气阀时非常有效。但是，使用背压防止

阀时，翱鲍罢-贰齿贬的流量减少约30%，请注意。并且背压防止阀对背压容许一定

连接气管时，请插入相应尺寸的气管，直到其顶到软管挡块，轻轻拉动气管，

拆卸气管时，先将气管压入直到其顶到软管挡块，在此状态下，如果直径较　

大时，平行压入开放环，同时拉拔气管。直径较小时，使用开放环将外环平

泄露，所以请注意不要在汇流板排气口限制排气。事后安装背压防止阀时请按

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