驰厂松下晶圆定位传感器,日本笔补苍补蝉辞苍颈肠定位传感器电子样本
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重量 本体重量:约75g
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质,吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。
因此,对于使用单波长激光的传感器,可能会因光全被吸收而无法检测。
而LED光源的光具有一定波长段,即使氮化膜晶圆也可准确检测。
0.5ms的高速反应
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和。
基于2段受光元件的位置检测
利用反射光量检测时,反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
传感器可以从正前方、右侧、左侧、下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。
可从四个方向引出电缆
以往使用激光的激光式定位传感器,激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员,危险。
M-DW1成功使用LED光源。确保操作人员安全。
使用环境温度 0?+55℃(注意不可结露)、存储时:?10?+70℃
使用环境湿度 35?85%RH、存储时: 35?85%RH
使用环境照明度 白炽灯:受光面照明度3,000lx以下、荧光灯:受光面照明度1,500lx以下
耐电压 AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振动 频率10?500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时
耐冲击 耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回
投光元件 LED(调制式)
材质 外壳:ABS及SUS301、透镜: 丙烯
电缆 0.15mm2 5芯橡皮电缆,长300mm
电缆延长 0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m
内置放大器的小巧、轻盈型
尺寸为宽度80.6mm×厚度18.3mm×进深50mm,质量约为75g的小巧、轻盈型。
灵敏度设定 背面教导:按本体灵敏度设定按钮运行
检测灵敏度切换:本体开关2bit、4级或外部输入的2级选择式
能 保护构造 IP20(IEC)
驰厂松下晶圆定位传感器,日本笔补苍补蝉辞苍颈肠定位传感器电子样本
021-39526589
网址:飞飞飞.辩颈补苍迟.苍别迟
地 址:上海市嘉定区嘉涌路99弄
6号楼713室