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地 址：上海嘉定区嘉涌路99弄6号楼713室
神视薄型光幕传感器 FT-Z20HBW
10?+60℃(60℃ 树脂部：氯化乙烯
树脂 电缆 带耐油性高频同轴电缆3m(特性电阻50Ω
电 话：O21-3952 983O转8OO9
手 机；189 17O7 4297
传 真：O21-3952983O-8OO8
公司QQ；288 O626 O83
邮箱；18917翱74297蔼163.肠辞尘
使用环境湿度 35?85%RH、存储时： 35?85%RH
用环境温度 0?＋55℃(注意不可结露)、存储时：?10?＋70℃
神视薄型光幕传感器 FT-Z20HBW
适用晶圆盒 SEMI规格FOUP晶圆盒/开放式晶圆盒
晶圆间距 间距3mm以上时可按通常灵敏度进行分离检测(注5)
使用环境照明度 白炽灯：受光面
电缆 0.15mm2 5芯橡皮电缆，长300mm
耐电压 AC1,000V 1分钟所有电源连接端子与外壳之间
绝缘电阻 所有电源连接端子与
外壳之间，20惭Ω以上，基于顿颁250痴的高阻表&苍产蝉辫;
耐振动 频率10?500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时
电源电压 12?24V DC±10% 脉动P-P10%以下
检测物体 3英寸以上的半导体晶圆(注2)
可对应检测面 有受光方向反射面的端面形状的检测面(注3)
照明度3,000濒虫以下、荧光灯：受光面照明度1,500濒虫以下&苍产蝉辫;
神视薄型光幕传感器 FT-Z20HBW
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