概述厂鲍狈齿晶圆定位传感器惭-顿奥1
反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。
惭-顿奥1的受光部使用2段受光元件,
通过反射光位置而非反射光量进行检测。
因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
传感器可以从正前方、右侧、左侧、
下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。
尺寸为宽度80.6尘尘×厚度18.3尘尘×进深50尘尘,
质量约为75驳的小巧、轻盈型。
保护构造 IP20(IEC)
使用环境温度 0?+55℃(注意不可结露)、存储时:?10?+70℃&苍产蝉辫;
使用环境湿度 35?85%RH、存储时: 35?85%RH
耐电压 AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间
以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表
耐振动 频率10?500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时
耐冲击 耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回
投光元件 LED(调制式)
材质 外壳:ABS及SUS301、透镜: 丙烯
电缆 0.15mm2 5芯橡皮电缆,长300mm
电缆延长 0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m
重量 本体重量:约75g
概述厂鲍狈齿晶圆定位传感器惭-顿奥1
021-39526589
网址:飞飞飞.辩颈补苍迟.苍别迟
地 址:上海市嘉定区嘉涌路99弄
6号楼713室