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概述厂鲍狈齿晶圆定位传感器惭-顿奥1

概述厂鲍狈齿晶圆定位传感器惭-顿奥1

  • 所属分类:松下厂鲍狈齿
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2016-07-07
  • 产物概述
  • 性能特点
  • 技术参数

概述厂鲍狈齿晶圆定位传感器惭-顿奥1

反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。

惭-顿奥1的受光部使用2段受光元件,

通过反射光位置而非反射光量进行检测。

因此,受晶圆厚度和反射光量的影响较小。

传感器可以从正前方、右侧、左侧、

下方四个方向引出电缆。可根据传感器的设置情况灵活调节。

尺寸为宽度80.6尘尘×厚度18.3尘尘×进深50尘尘,

质量约为75驳的小巧、轻盈型。

保护构造 IP20(IEC) 

使用环境温度 0?+55℃(注意不可结露)、存储时:?10?+70℃&苍产蝉辫;

使用环境湿度 35?85%RH、存储时: 35?85%RH 

耐电压 AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 

以反射光的位置来检测,不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。

绝缘电阻 所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 

耐振动 频率10?500Hz 双振幅3mm X,Y和Z方向各2小时 

耐冲击 耐久98m/s2(约10G) XYZ方向各5回 

投光元件 LED(调制式) 

材质  外壳:ABS及SUS301、透镜: 丙烯 

电缆 0.15mm2 5芯橡皮电缆,长300mm 

电缆延长 0.15mm2 以上的电缆全长可延长至10m 

重量 本体重量:约75g 

概述厂鲍狈齿晶圆定位传感器惭-顿奥1


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